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邦得凌透明OC光刻胶 高深宽比光阻
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- OC负型光阻剂Brthrper-751A TP、ITO黄光制程用绝缘保护负型光刻胶 一款*于TP行业OGS高温镀膜后绝缘搭桥保护的可显影高精度负型光阻剂。
1.材料组分 Brthrper-751A 耐高温高分子树脂 高显影型丙烯酸低聚物 齐化交联树脂 聚氨酯-丙烯酸交联剂 光引发剂 自由基型光化合物 助剂 流平剂、附着力促进剂、消泡剂等 溶剂 PGMEA、PM、EEP 2.黄光工艺 Brthrper-751A Coating Slit or spin Drying VCD(30-70pa) Pre-Bake Temp:110-120℃,Time:120sec Exp Energy:200-300mj/cm2(i-Line),gap:200um Developement 0.045%KOH,Time:50-60sec,Temp:25℃ Cure Temp:230-240℃,Time:30min 3.材料特性 Brthrper-751A 外观及特征 固含量 22%±0.5 粘度 5.5cp±0.1 外观 微黄色透明液体 比重 0.96 黄光工艺后特性 膜存率 88%(后烘膜厚/显影膜厚) 透过率(400nm,2um) 99% 折射率(550nm) 1.54 表面电阻 >1014Ω/□ 表面硬度(铅笔硬度计750g,三菱铅笔) 4H 附着 On glass 5B On ITO 5B On MAM 5B 爬坡角度(Profile) <30°(实测25°) 4.耐化学性及可靠性 Brthrper-751A 耐超声清洗(30kHz/50℃/10min) Glass 5B ITO 5B MAM 5B 耐王.水(42℃/3min) Glass 5B ITO 5B MAM 5B 耐碱(4.5%KOH,45℃/5min) Glass 5B ITO 5B MAM 5B 耐溶剂(丙.酮、NMP、IPA、GBL,Time:30min) Glass 5B ITO 5B MAM 5B 高温高湿(60℃,90RH,Time:480h) Glass 5B ITO 5B MAM 5B 5.包装及存储 包装:1加仑洁净HDPE桶,加不透光包装袋 贮存:0~5℃避光保存;紧盖封口,于通风、阴凉处储存;贮运中避免日晒、雨淋、泄露;剩余产品密封存放 保质期:3个月 6.售后与服务 如接到使用方技术服务请求后48小时内,将用电话、传真、E-mail提供解决方案或派人前往协助解决。
邦得凌公司于2018年11月成立,是国内专注于开发负型光阻剂的专业高科技公司,并吸收日本特种感光高分子功能材料技术而来。
公司核心团队于2006年从事各类负型光刻胶/光阻剂(Nagtive Photo Rresist)及相应纳米复合材料开发,拥有对该类材料的丰富定制化经验,并对负型类光刻胶与光刻制程之间的工艺衔接关系把握准确。
国内唯.一拥有负型光刻胶用黄光树脂(Binder Polymer)量产化技术的高分子材料设计与开发团队。
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